名稱

內(nèi)容

測量范圍

Z軸（垂直)

160μm

X軸（水平)

17.5mm

分辨率

Z軸（垂直)

0．01μm/±20μm

0．02μm/±40μm

0．04μm/±80μm

測量項目

參數(shù)

Ra、Rq、Rz、Rt

準

ISO、GB

濾波器

RC,PC-RC,Gauss,D-P

取樣長度(lr)

0.25,0.8,2.5mm

評定長度（ln)

Ln= lr×n   n=5

傳感器

測量原理

位移式差動電感

觸針

天然金剛石，90錐角，5μm針尖半徑

測力

<4mN

導(dǎo)頭

紅寶石，滑行方向半徑40mm

滑行速度

lr=0.25,  Vt=0.135mm/s

lr=0.8,   Vt=0. 5mm/s

lr=2. 5,   Vt=1mm/s

返回     Vt=1mm/s

示值誤差

不大于±10%

示值變動性

不大于6%

電源

內(nèi)置鋰離子充電電池，用8.4V,800mA充電器充電

外形尺寸

119×47×65mm

重量

約380g